洗浄液の吐出装置及び洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：増田恒則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297727
公開番号（公開出願番号）：特開2001-113234
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：

【要約】【課題】安価にして洗浄機能の高い洗浄液の吐出装置及び洗浄装置を得る。【解決手段】洗浄物(A)に向けて配置した吐出ノズル(17)に所定圧の洗浄液と圧縮空気とを混合させて供給する混合流体供給装置(17a,17b,20,21)を設ける。また、収容ケース(4)内に旋回台(13)と、該旋回台(13)に搭載された洗浄物(A)に向けて配置した吐出ノズル(17)とを設け、前記旋回台(13)を鉛直軸心を中心として回転させる回転装置(14)を設け、前記吐出ノズル(17)に前記混合流体供給装置(17a,17b,20,21)を接続する。

請求項（抜粋）：

洗浄物(A)に向けて配置した吐出ノズル(17)に所定圧の洗浄液と圧縮空気とを混合させて供給する混合流体供給装置(17a,17b,20,21)を設けたことを特徴とする洗浄液の吐出装置。

FI (3件)：

B08B 3/02 B , B08B 3/02 F , B08B 3/02 G

Fターム (8件)：

3B201AA46 , 3B201AB01 , 3B201AB34 , 3B201BB25 , 3B201BB44 , 3B201BB88 , 3B201BB92 , 3B201CC12

引用特許：

審査官引用 (4件)

洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-248601 出願人：大陽東洋酸素株式会社
液体噴射方法、ノズル及びこれを用いた洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-197395 出願人：豊田工機株式会社
酸化物単結晶基板の洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180358 出願人：株式会社村田製作所

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