特許

J-GLOBAL ID：200903013751990766

感光性重合体、溶解抑制剤及びこれらを含む化学増幅型フォトレジスト組成物

発明者： 崔 相 俊
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134933
公開番号（公開出願番号）：特開2000-038416
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】 食刻耐性が大きいほか、下部の膜質への接着力に優れている感光性重合体、溶解抑制剤及びこれらを含む化学増幅型フォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】 炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を側鎖として有する5-ノルボルネン-2-メタノール誘導体モノマーと無水マレイン酸モノマーとから重合されてなる感光性共重合体。また、本発明に係る溶解抑制剤は、酸により化学反応を起こす基を作用基として有するトリシクロデカン誘導体あるいはサルササポゲニン誘導体である。

請求項（抜粋）：

炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を側鎖として有する5-ノルボルネン-2-メタノール誘導体モノマーと無水マレイン酸モノマーとから重合されてなる感光性共重合体。

IPC (7件)：

C08F 32/04 ,  C08K 5/156 ,  C08K 5/17 ,  C08L 45/00 ,  C09D137/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601

FI (7件)：

C08F 32/04 ,  C08K 5/17 ,  C08L 45/00 ,  C09D137/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601 ,  C08K 5/15 G

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-358468   出願人：三星電子株式会社