特許

J-GLOBAL ID：200903039887880483

感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物

発明者： 崔 相俊 ,  姜 律 ,  鄭 東垣 ,  朴 春根
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-358468
公開番号（公開出願番号）：特開平11-269234
出願日： 1998年12月02日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 通常の現像液を使用して現像でき、優秀なエッチング耐性を有し、膜質に対して優秀な接着力を発揮する感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 下記化学式1の高分子、又は化学式1の高分子を有する共重合体を含む感光性ポリマーを提供する。式のうち、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、nは定数である。

請求項（抜粋）：

化学式1の高分子、又は前記化学式1の高分子を有する共重合体を含む感光性ポリマー。【化1】化学式1式のうち、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、nは定数である。

IPC (3件)：

C08F222/06 ,  C08F277/00 ,  G03F 7/039 601

FI (3件)：

C08F222/06 ,  C08F277/00 ,  G03F 7/039 601

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 化学増幅型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-279070   出願人：三星電子株式会社
• 化学増幅型のレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-094644   出願人：三星電子株式会社
• 感光膜共重合体、感光膜共重合体の製造方法、感光膜、感光膜の製造方法、単量体の合成方法、半導体装置の製造方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-368957   出願人：現代電子産業株式会社