特許
J-GLOBAL ID：200903039887880483
感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-358468
公開番号（公開出願番号）：特開平11-269234
出願日： 1998年12月02日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 通常の現像液を使用して現像でき、優秀なエッチング耐性を有し、膜質に対して優秀な接着力を発揮する感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 下記化学式1の高分子、又は化学式1の高分子を有する共重合体を含む感光性ポリマーを提供する。式のうち、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、nは定数である。
請求項（抜粋）：
化学式1の高分子、又は前記化学式1の高分子を有する共重合体を含む感光性ポリマー。【化1】化学式1式のうち、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、nは定数である。
IPC (3件)：
C08F222/06
, C08F277/00
, G03F 7/039 601
C08F222/06
, C08F277/00
, G03F 7/039 601
