特許

J-GLOBAL ID：200903013768418691

基板処理装置

発明者： 田中 覚 ,  市村 悟
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-224700
公開番号（公開出願番号）：特開2004-071618
出願日： 2002年08月01日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】基板保持具の搬送手段を有する基板処理装置に於いて、基板保持具が簡単に倒れない様にし、基板保持具の破損を防止する。【解決手段】基板を基板保持具13に載置した状態で処理室に装入し、基板の処理を行う基板処理装置に於いて、前記基板保持具を前記基板処理装置内で移動させる搬送手段と、該搬送手段が前記基板保持具に向って進退可能で、該基板保持具を載置するアーム17と、該アームに設けられたクランパ31とを具備し、前記基板保持具が周囲に沿った水平面33を有し、前記クランパは前記アームが前記基板保持具を載置した状態で前記水平面に対峙する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板を基板保持具に載置した状態で処理室に装入し、基板の処理を行う基板処理装置に於いて、前記基板保持具を前記基板処理装置内で移動させる搬送手段と、該搬送手段が前記基板保持具に向って進退可能で、該基板保持具を載置するアームと、該アームに設けられたクランパとを具備し、前記基板保持具が周囲に沿った水平面を有し、前記クランパは前記アームが前記基板保持具を載置した状態で前記水平面に対峙することを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  C23C16/44

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  C23C16/44 F

Fターム (17件)：

4K030CA04 ,  4K030GA12 ,  4K030KA04 ,  5F031CA02 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA49 ,  5F031HA64 ,  5F031HA67 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 縦型熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-035418   出願人：東京エレクトロン株式会社