特許
J-GLOBAL ID：200903013817406394

透明基板の欠陥の特性評価のための装置及び方法

発明者：
レブランク,フィリップ アール

レブランク,フィリップ アール について

, 
シュナイダー,ヴィター エム

シュナイダー,ヴィター エム について

, 
アスタニク,コリー アール

アスタニク,コリー アール について


出願人/特許権者：
コーニング インコーポレイテッド

コーニング インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-510980
公開番号（公開出願番号）：特表2009-537022
出願日： 2007年05月09日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
透明基板(12)を照明するために明視野光源及び暗視野光源を組み合せて同時に用いることによる、基板の欠陥を検出するための装置(10)及び方法。装置は基板が移動している間に混入物及び表面欠陥のいずれをも同時に検出することができ、製造環境における基板の特性評価を簡略化することができる。
請求項（抜粋）：
透明基板(12)の欠陥を検出する方法であって、 前記基板(12)の一領域を、走査型撮像システム(14)に対して前記領域の暗視野照明を与えるために配置された、少なくとも1つの光源(46)で照明する工程、 前記基板領域を、前記走査型撮像システムに対して前記領域の明視野照明を与えるために配置された、少なくとも1つの光源(34)で照明する工程、 前記基板を前記走査型撮像システムに対して平行移動させる工程、および 前記基板を平行移動させながら前記走査型撮像システム(14)で前記基板の前記照明領域の少なくとも一部を走査することによって前記少なくとも1つの暗視野光源からの散乱光及び前記少なくとも1つの明視野光源からの光を同時に検出する工程、 を有してなる方法。
IPC (1件)：
G01N 21/958
FI (1件)：
G01N21/958
Fターム (21件)：
2G051AA73 ,  2G051AA84 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB09 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051CC09 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM