特許
J-GLOBAL ID:200903013819221871
ビーム振り分け装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
, 鵜飼 伸一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-102047
公開番号(公開出願番号):特開2008-257137
出願日: 2007年04月09日
公開日(公表日): 2008年10月23日
要約:
【課題】 新規な構成のビーム振り分け装置を提供する。【解決手段】 ビーム偏光面を回転して出射する偏光面回転器と、これを出射したビーム光路上に配置され、ビームを第1及び第2方向に偏向する偏向器と、偏向器によって第1方向に偏向されたビーム光路上に配置され、ビームの第1偏光方向の成分を透過し、これと直交する第2偏光方向の成分を反射する第1ビーム分岐器と、偏向器によって第2方向に偏向されたビーム光路上に配置され、ビームの第3偏光方向の成分を透過し、これと直交する第4偏光方向の成分を反射する第2ビーム分岐器と、偏光面回転器を出射するビームの偏光方向が、第1ビーム分岐器に対して第1もしくは第2偏光方向となる、または、第2ビーム分岐器に対して第3もしくは第4偏光方向となる条件でビーム偏光面を回転させるとともに、偏向器に入射したビームが、第1または第2方向に偏向されるように、偏光面回転器及び偏向器を制御する制御装置とを有するビーム振り分け装置を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
外部からの制御により、入射するレーザビームの偏光面を回転させて出射することのできる偏光面回転器と、
前記偏光面回転器を出射したレーザビームの光路上に配置され、外部からの制御により、入射するレーザビームを、第1の方向、及び、前記第1の方向とは異なる第2の方向に選択的に偏向することのできる偏向器と、
前記偏向器によって、前記第1の方向に偏向されたレーザビームの光路上に配置され、入射するレーザビームの第1の偏光方向の成分を透過し、前記第1の偏光方向と直交する第2の偏光方向の成分を反射する第1のビーム分岐器と、
前記偏向器によって、前記第2の方向に偏向されたレーザビームの光路上に配置され、入射するレーザビームの第3の偏光方向の成分を透過し、前記第3の偏光方向と直交する第4の偏光方向の成分を反射する第2のビーム分岐器と、
前記偏光面回転器を出射するレーザビームの偏光方向が、前記第1のビーム分岐器に対して前記第1の偏光方向もしくは前記第2の偏光方向となる、または、前記第2のビーム分岐器に対して前記第3の偏光方向もしくは前記第4の偏光方向となる条件で、入射するレーザビームの偏光面を回転させるように前記偏光面回転器を制御するとともに、前記偏向器に入射したレーザビームが、前記第1の方向または前記第2の方向に偏向されるように、前記偏向器を制御する制御装置と
を有するビーム振り分け装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (7件):
2K002AA07
, 2K002AB03
, 2K002BA03
, 2K002BA06
, 2K002BA12
, 2K002HA02
, 2K002HA10
引用特許:
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