特許

J-GLOBAL ID：200903061586931061

偏向方法及び偏向装置並びにレーザ加工装置

発明者： 北村 幸之助 ,  青山 博志
出願人/特許権者： 日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-362946
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191880
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】偏向装置の偏向角度が小さい場合であっても、装置を小形にすることができる偏向方法及び偏向装置並びにレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】偏向角が可変の偏向手段3a、3bと、集光レンズ4と、全反射ミラー5とを設け、偏向手段3a、3bから出射されたレーザビーム2a、2b、2cを集光レンズ4により集光し、偏向手段3a、3bに入射したレーザビーム2の径よりも小径にして光路が互いに重ならないように離間させた状態で全反射ミラー5に入射させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

偏向手段の出射側に集光手段を配置し、 前記偏向手段から前記偏向手段により偏向される光と偏向されない光の中心距離が当該光の径よりも大きくなる位置までの距離を短縮する、ことを特徴とする偏向方法。

IPC (2件)：

G02F1/33 ,  G02B27/10

FI (2件)：

G02F1/33 ,  G02B27/10

Fターム (5件)：

2K002AA04 ,  2K002AB03 ,  2K002BA12 ,  2K002DA01 ,  2K002EA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-345134
  
• レーザ加工方法およびレーザ加工機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-003698   出願人：日立ビアメカニクス株式会社
• レーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-235949   出願人：浜松ホトニクス株式会社