特許

J-GLOBAL ID：200903013826144670

デカボランガス供給システム

発明者： 平塚 一 ,  新井 貴 ,  西堂 雅博
出願人/特許権者： 日本原子力研究所
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-136988
公開番号（公開出願番号）：特開平8-000980
出願日： 1994年06月20日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 常温では固体状で取扱いの容易なデカボラン(B10H14)を加熱してデカボランガスを得、これをガス流量制御バルブにより指定の流量において安定に供給でき、しかも、供給不要となったデカボランガスを除害装置を介して安全に真空ポンプで排気でき、又緊急時にはデカボランの加熱部を冷却してデカボラン蒸気圧の発生を抑制、停止させることができるデカボランガス供給システム。【効果】 本発明のデカボランガス供給システムは、容易に、かつ、正確にデカボランが充填された原料容器をオーブンにより加熱して、任意の蒸気圧を得て、加熱された供給配管を介してプロセス側に安定にデカボランガスを供給することが可能である。

請求項（抜粋）：

常温では固体状で取扱いの容易なデカボラン(B10H14)を原料とし、これを加熱してデカボランガスを得て、ガス流量制御バルブにより指定ガス流量を安定に供給できるとともに、供給不要となったデカボランガスを除害して安全に処理できるデカボランガス供給システム。

IPC (2件)：

B01J 4/00 102 ,  H01L 21/22 501

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 原料容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-317398   出願人：日本原子力研究所
• 特開平3-104868
  
• 特開昭60-238136