超小型電子流量センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 神田藤博
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-557754
公開番号（公開出願番号）：特表2004-521330
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

空気などの流体43の運動を検知または測定するシステム(例えば、30、230、330、430、530)。本システムは(例えば、30、230、330、430、530)は、内部流路(例えば、41、341、441、541)を含む、2つの部分(例えば、31、32、231、232、331、332、431、432、531、532)からなるプラスチック本体を典型的に有する。本体の部分(例えば、31、32、231、232、331、332、431、432、531、532)は、粘着剤でスナップ嵌合することができる。変換器または電子センサ(例えば、38)が流路(例えば、41、341、441、541)中に典型的に位置し、そのセンサは質量流量を測定しかつ熱源(例えば、52)の両側に位置する2つの抵抗性熱形装置(RTD)(例えば、54、55)を有することができる。本体は、配管に付着するように構成された2つの細長いポートチューブ(例えば、34、434、534、535)を有することができる。ポートチューブ(例えば、34、434、534、535)はベンチュリ(例えば、64、564、565)を含み、かつ実質的に直立かつ実質的に平行であり、U字形を形成することができる。金属リードフレーム(例えば、33、233、333、433、533)をセンサ(例えば、38)と電気的に連通して設けることができる。このリードフレーム(例えば、33、233、333、533)は、本体と一体成形可能であり、かつ本体よりも小さい熱膨張係数を有することができる。内部流路(例えば、41、341、441、541)とセンサ(例えば、38)は、実質的に対称でありかつどちらの流れ方向でも実質的に同等に流体43の流量を測定することができる。本システム(例えば、30、230、330、430、530)は表面装着またはスルーホール装着するように構成可能であり、かつデュアルインライン型であり得る。

請求項（抜粋）：

流体43の運動を検知するシステム(例えば、30、230、330、430、530)であって、内部流路(例えば、41、341、441、541)を有する本体と、前記内部流路(例えば、41、341、441、541)中に位置する電子センサ(例えば、38)と、金属リードフレーム(例えば、33、233、333、533)であって、前記センサ(例えば、38)と電気的に連通し、前記本体と一体成形される金属リードフレーム(例えば、33、233、333、533)とを備えるシステム(例えば、30、230、330、430、530)。

IPC (3件)：

G01F1/684 , G01F15/14 , G01L19/14

FI (4件)：

G01F1/68 101A , G01F15/14 , G01L19/14 , G01F1/68 101B

引用特許：

審査官引用 (2件)

半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-340809 出願人：富士電機株式会社
熱線式空気流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-249503 出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社

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