特許
J-GLOBAL ID：200903013902261664
不純物分析試料用容器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤野 牧子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070591
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253511
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 各種試料、特に半導体製造工程における各種部材の試料を、酸蒸気分解、酸分解又は分解することなく、濃縮、定容処理して、外部汚染を極力低減し、高精度にICP質量分析等によりpptオーダで不純物を定量分析する。【解決手段】 不純物分析試料用容器であって、試料を間接溶解の酸蒸気分解し、濃縮、定容して分析する場合には、試料収容部材と収納部材との2部材を組合せる収納方式を特徴する。また、試料を直接溶解する酸分解する場合、または、酸分解せずに単に濃縮、定容処理して分析する場合には、各操作や分析装置へのセットのために従来行われている各種容器への移し替えを不要とし、要すれば酸蒸気分解または酸分解し、濃縮、定容、分析の全処理を同一容器で行うように、分析装置の自動サンプリング装置に載置可能に一体的に形成されることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
酸蒸気分解させる試料を収容して酸蒸気発生装置内に配置される容器であって、試料収容部材と収納部材との組合せであり、該収納部材が中空体で中空内部を外部酸蒸気が流通自在となるように開口部を有し、酸蒸気分解時に該収納部材の上部外形が滑らかな液流下が可能に形成されると共に、該試料収容部材が平板体で表面に曲面底部の試料収容凹部が1または2以上凹設され、該収納部材の中空内部に収納されて保持されることを特徴とする不純物分析試料用容器。
IPC (5件)：
G01N 1/28
, G01N 21/31
, G01N 21/73
, G01N 27/62
, G01N 33/00
G01N 1/28 K
, G01N 21/31 A
, G01N 21/73
, G01N 27/62 B
, G01N 33/00 A
