特許
J-GLOBAL ID：200903013906533367

加圧装置および液晶注入装置

発明者：
中山 胤芳

中山 胤芳 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025581
公開番号（公開出願番号）：特開2001-214975
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】 扉をチャンバ開口部に対して均一に付勢することができるとともに、扉開閉時のシール破損を防止することができる液晶注入装置の提供。【解決手段】 固定装置10a〜11をチャンバ1および扉2に設けて、この固定装置10a〜11に設けられたモータ13の駆動力により扉2をチャンバ開口部1aに付勢し、扉2をチャンバ開口部1aに固定するようにした。その結果、チャンバ開口部1aに対して扉2が均一に付勢され、加圧時のガス漏れを防止することができるとともに、常に適正な付勢力で扉2をチャンバ開口部1aに付勢することができ、扉2の開閉作業が容易となる。また、扉スライド時に、移動機構を用いて扉2とチャンバ開口部1aとの間に隙間が生じる退避位置に扉2を移動させるので、扉2とチャンバ開口部1aに設けられたシール111との干渉を避けることができる。
請求項（抜粋）：
試料が装填されるチャンバと、チャンバ開口部に設けられる開閉扉とを備え、前記チャンバ内が大気圧より大きな圧力に加圧される加圧装置において、アクチュエータの動作により、前記開閉扉を前記チャンバ開口部方向に付勢して前記チャンバ開口部に固定する複数の固定装置と、前記各固定装置によって前記開閉扉に与えられる付勢力の各々が、全て所定の同一値となるように前記固定装置のアクチュエータを制御する制御装置とを設けたことを特徴とする加圧装置。
IPC (2件)：
F16J 13/00 ,  G02F 1/1341
FI (2件)：
F16J 13/00 ,  G02F 1/1341
Fターム (9件)：
2H089NA25 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  3J046AA07 ,  3J046AA13 ,  3J046BC02 ,  3J046BC03 ,  3J046BC15 ,  3J046DA04
引用特許：
審査官引用 (4件)
  • 特開平4-347064
  • 液晶表示装置の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-221978   出願人：株式会社ベルデックス
  • 特開平3-131434
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