特許

J-GLOBAL ID：200903013948531828

洗浄方法及び洗浄装置

発明者： 前川 敏郎 ,  小野 耕司 ,  辻村 学
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-070903
公開番号（公開出願番号）：特開平8-238463
出願日： 1995年03月03日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】 洗浄する部材の洗浄能力を飛躍的に長く維持でき、機器のメンテナンス期間を伸ばすことができる洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。【構成】 薄板状の被洗浄物に付着するダストを複数の洗浄工程を経て超清浄にする洗浄方法及び装置であって、洗浄工程の少なくとも最初の洗浄工程と最終の洗浄工程に、高圧の超純水を噴射させる高圧水噴射洗浄工程、キャビテーションを有する超純水を噴射させる高圧水噴射洗浄工程、ノズルから超音波の振動エネルギーを与えた超純水を噴射させる超音波洗浄工程のいずれか一つ又はこれらのいくつかを組み合わせた洗浄工程を用いる。

請求項（抜粋）：

薄板状の被洗浄物に付着するダストを複数の洗浄工程を経て超清浄にする洗浄方法であって、前記洗浄工程の少なくとも最初の洗浄工程と最終の洗浄工程にノズルから噴射された液体を被洗浄物表面に吹き付け洗浄する液噴射洗浄工程とし、これら複数の洗浄工程を経て前記被洗浄物を洗浄することを特徴とする洗浄方法。

IPC (4件)：

B08B 3/02 ,  B08B 1/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 3/02 B ,  B08B 1/04 ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-140727
  
• 特開平3-224670
  
• ウエハの洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-337385   出願人：シャープ株式会社
• 特開平4-094537