特許
J-GLOBAL ID：200903013986011544
溶液セル付き原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288303
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118813
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】溶液中の試料を観察する原子間力顕微鏡で溶液に残った気泡の影響がないようにする。【解決手段】試料を三次元的に走査するピエゾスキャナ6の上に載置された試料7と、カンチレバー1が固定されているカンチレバーホルダ2の間は、変形可能なシール3によって密封されており、溶液4が満たされている。レーザー光源からの入射光Nはカンチレバーの背面で反射され、その反射光Hの方向変化が受光器によって検出される。試料表面の凹凸に応じてカンチレバー1が上下し反射光Hの方向が変化するが、その変化を相殺するようにピエゾスキャナ6を制御し、溶液中で試料の凹凸を観察・測定することができる。カンチレバーホルダ2の内側上面は傾斜しており、溶液内に残った気泡5は上部隅に集まり入射光Nと反射光Hの光路からはずれ、測定の邪魔となることがない。
請求項（抜粋）：
試料表面を溶液中で観察するための溶液セルを有する原子間力顕微鏡において、前記溶液セルの内面上部が水平面に対して傾斜していることを特徴とする溶液セル付き原子間力顕微鏡。
引用特許：
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