圧電素子及びその製造方法並びに圧電素子を用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：栗原浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-077240
公開番号（公開出願番号）：特開2006-261412
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】圧電体層の特性を向上でき且つ圧電体層の特性を均一化できる圧電素子及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】基板上に設けられた面方位(100)の下電極60と、下電極上にエピタキシャル成長により形成された面方位(100)のチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体層70と、圧電体層70上に設けられた上電極80とからなり、且つ圧電体層70内部の下電極60との境界部分に、ジルコニウム(Zr)又はチタン(Ti)の含有量が圧電体層70の他の領域よりも多い所定厚さのバッファ層71が存在するようにする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた面方位(100)の下電極と、該下電極上にエピタキシャル成長により形成された面方位(100)のチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体層と、該圧電体層上に設けられた上電極とからなり、且つ前記圧電体層内部の前記下電極との境界部分に、ジルコニウム(Zr)又はチタン(Ti)の含有量が当該圧電体層の他の領域よりも多い所定厚さのバッファ層が存在することを特徴とする圧電素子。

IPC (8件)：

H01L 41/09 , H02N 2/00 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/187 , H01L 41/22 , H01L 41/24

FI (8件)：

H01L41/08 C , H02N2/00 B , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H , H01L41/18 101D , H01L41/08 J , H01L41/22 Z , H01L41/22 A

Fターム (18件)：

2C057AF37 , 2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP22 , 2C057AP25 , 2C057AP27 , 2C057AP33 , 2C057AP34 , 2C057AP52 , 2C057AP53 , 2C057AP56 , 2C057AP57 , 2C057AQ02 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

強誘電体薄膜素子ならびにセンサ、および強誘電体薄膜素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-072758 出願人：株式会社村田製作所

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