特許

J-GLOBAL ID：200903014033888518

投影露光装置および位置合せ方法

発明者： 鵜澤 繁行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-240022
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064811
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 原板と被露光基板とをより高精度に位置合わせする。【解決手段】 原板6の像を投影光学系3を介して被露光基板2上に露光する投影露光装置において、原板の伸び量を計測する手段7L,7Rと、その伸び量に応じて投影光学系の倍率を制御する手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

原板の像を投影光学系を介して被露光基板上に露光する投影露光装置において、原板の伸び量を計測する手段と、その伸び量に応じて投影光学系の倍率を制御する手段とを具備することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 516 E ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 516 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-217675   出願人：株式会社ニコン
• 特開平3-293714