特許
J-GLOBAL ID：200903014041273662

光導波路素子及び光導波路素子の製造方法

発明者：
梨本 恵一

梨本 恵一 について

, 
森山 弘朗

森山 弘朗 について

, 
中村 滋年

中村 滋年 について


出願人/特許権者：
富士ゼロックス株式会社

富士ゼロックス株式会社 について


代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194523
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329959
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 組成が均一であり、表面が光学的に平滑であり、かつ、単結晶状のエピタキシャルPLZT強誘電体薄膜を備えた光導波路素子を提供する。【解決手段】 光導波路素子の単結晶基板12上に、少なくとも、0<x<0.30、0<y<0.20の範囲の単結晶状またはエピタキシャルのPb<SB>1-x </SB>La<SB></SB><SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB>3</SB>からなる第1強誘電体層14と、該第1強誘電体層14上に設けられた0<x<0.20、0.20<y<1.0の範囲の単結晶状またはエピタキシャルのPb<SB>1-x </SB>La<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB>3</SB>からなる第2強誘電体層16と、を設ける。
請求項（抜粋）：
単結晶基板と、単結晶基板上に設けられた0<x<0.30、0<y<0.20の範囲の単結晶状またはエピタキシャルのPb<SB>1-x </SB>La<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB>3</SB>からなる第1強誘電体層と、該第1強誘電体層上に設けられた0<x<0.20、0.20<y<1.0の範囲の単結晶状またはエピタキシャルのPb<SB>1-x </SB>La<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB></SB><SB>3</SB>からなる第2強誘電体層と、を有する光導波路素子。
IPC (3件)：
G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  G02F 1/055 501
FI (3件)：
G02B 6/12 M ,  G02F 1/055 501 ,  G02B 6/12 N
Fターム (12件)：
2H047PA02 ,  2H047PA06 ,  2H047QA01 ,  2H047QA07 ,  2H047TA00 ,  2H079AA02 ,  2H079AA08 ,  2H079AA12 ,  2H079AA14 ,  2H079DA03 ,  2H079DA22 ,  2H079HA11
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭62-012696
  • 強誘電体膜形成方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-031853   出願人：シャープ株式会社
審査官引用 (5件)
  • 特開昭62-012696
  • 強誘電体膜形成方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-031853   出願人：シャープ株式会社
  • 特開昭62-012696
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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