特許
J-GLOBAL ID：200903014090079162
遠心機
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195921
公開番号（公開出願番号）：特開2000-024553
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：
【要約】【課題】 遠心機のロータが回転するチャンバ室の真空を破るエアリークバルブの外来ノイズによる誤動作を起こさない制御回路を提供することである。【解決手段】 遠心機の主な制御をするプロセッサのほかにロータを駆動するモータの回転信号(MPGパルス)を入力信号とする単安定回路とNAND回路、双安定回路から構成されていて、ロータが高い回転数で回転している場合には、エアリークバルブを動作禁止状態にするように、MPGパルスが常に双安定回路のセットトリガ信号となるように機能するデジタルロジック回路を追加する。
請求項（抜粋）：
駆動部モータにより回転されるロータと、該ロータを収容する回転室と、該回転室を大気圧に開放するエアリークバルブと、該エアリークバルブの開閉制御を行う中央処理装置とを備えた遠心機において、前記エアリークバルブの制御する前記中央処理装置と独立して設けた制御回路により前記エアリークバルブを制御し、更に前記制御回路は、前記駆動モータの回転信号をトリガ信号とした単安定回路と、該単安定回路の出力信号をトリガ信号としたリトリガラブル単安定回路及び前記回転室の真空を破る前記エアリークバルブの動作禁止、禁止解除状態を保持する双安定回路とから構成されることを特徴とする遠心機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
4D057AB01
, 4D057AB03
, 4D057AC01
, 4D057AC05
, 4D057AD01
, 4D057AE11
, 4D057BA38
, 4D057BD00
, 4D057CA07
, 4D057CB00
