特許

J-GLOBAL ID：200903014093028330

真空冷却装置の徐冷除圧装置及び徐冷除圧方法

発明者： 中澤 健二 ,  矢野 宏一
出願人/特許権者： 日空工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-173252
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333249
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】 一つの装置で徐冷制御も徐圧制御も可能であり、また被冷却物の種類に応じた冷却パターンが容易に設定でき、さらに被冷却物に損傷を与えることなく、短時間で効率良く、しかも確実性がある真空冷却装置の徐冷徐圧装置及び徐冷徐圧方法を得る。【解決手段】 真空槽内の圧力を検出することにより、徐冷中は減圧速度を、徐圧中は復圧速度をフィードバック制御で自動制御する。

請求項（抜粋）：

真空冷却装置の真空槽内の被冷却物を冷却するときに、大気を吸引して冷却速度を調整する徐冷装置と、冷却達成後真空槽内を大気圧に復圧するときに、大気を吸引して復圧速度を調整する徐圧装置とにおいて、一方のポートは真空槽に接続し他方のポートはフィルターを介して大気に通ずるように配設されて、入力信号で絞り開度を変えて大気吸引量を調整する自動絞り弁と、真空槽内に取り付けて、真空槽内の圧力を常時検出して出力する圧力検出器と、真空槽外に設けて、検出器から入力した検出圧力をもとに、冷却中のときは減圧速度を演算し、大気圧に復圧中のときは復圧速度を演算し、演算された減圧速度及び復圧速度のそれぞれが、予め設定した目標減圧速度及び目標復圧速度に一致するように対応した絞り度を指示する信号を、前記自動絞り弁に出力することを繰り返すフィードバック制御をする制御器とから成り、徐冷と徐圧とが兼用可能であることを特徴とする真空冷却装置の徐冷徐圧装置。

IPC (2件)：

F25D 7/00 ,  F25B 19/00

FI (2件)：

F25D 7/00 A ,  F25B 19/00 A

Fターム (9件)：

3L044AA01 ,  3L044BA05 ,  3L044DD04 ,  3L044FA08 ,  3L044GA01 ,  3L044HA07 ,  3L044JA03 ,  3L044KA01 ,  3L044KA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 真空冷却方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-087486   出願人：三浦工業株式会社
• 段階的冷却を行う真空冷却装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-233698   出願人：株式会社サムソン