特許
J-GLOBAL ID：200903014131839240

真空ポンプの運転方法

発明者：
石橋 良光

石橋 良光 について

, 
臼井 克明

臼井 克明 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-252836
公開番号（公開出願番号）：特開平11-082347
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 真空ポンプの消費電力を低減しつつ、且つポンプ停止に伴う弊害を防止した真空ポンプの運転方法を提供する。【解決手段】 半導体製造装置などの排気系に使用される真空ポンプ14の運転方法において、排気対象の装置からの信号を受けて、真空ポンプ14の回転数を低減することによりアイドリング状態とし、消費電力を抑制する。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置などの排気系に使用される真空ポンプの運転方法において、前記排気対象の装置からの信号を受けて、前記真空ポンプの回転数を低減することによりアイドリング状態とし、消費電力を抑制することを特徴とする真空ポンプの運転方法。
IPC (2件)：
F04C 25/02 ,  F04B 37/16
FI (2件)：
F04C 25/02 B ,  F04B 37/16 A
引用特許：
審査官引用 (3件)

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