特許
J-GLOBAL ID:200903014147459668

絶縁膜用感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 成瀬 勝夫 ,  中村 智廣 ,  佐野 英一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-102965
公開番号(公開出願番号):特開2006-284785
出願日: 2005年03月31日
公開日(公表日): 2006年10月19日
要約:
【課題】 低添加量の光重合開始剤、低露光量で物性が発現し、解像性、耐信頼性及び耐ニッケル金メッキ性を損なわず、常温での保存安定性に優れる樹脂組成物及びこれを用いた積層体を提供する。【解決手段】 (A)ジオ-ル化合物と多価カルボン酸類とを反応させて得られるカルボキシル基含有共重合体であって、重量平均分子量が2,000〜40,000、酸価が50〜200mgKOH/gである樹脂、(B)光重合可能なエチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも1つ以上含む不飽和化合物、(C)エポキシ化合物、(D)光重合開始剤を主成分とし、(A)成分と(B)成分の合計100重量部に対して、(C)成分が10〜40重量部、(D)成分が0.01〜2.0重量部含有され、且つ、(D)成分の光重合開始剤として下記一般式(I)で表される化合物を含有する絶縁膜用感光性樹脂組成物である。 【化1】【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)ジオ-ル化合物と多価カルボン酸類とを反応させて得られ、重量平均分子量が2,000〜40,000、酸価が50〜200mgKOH/gであるカルボキシル基含有樹脂、 (B)光重合可能なエチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも1つ以上含む不飽和化合物、 (C)エポキシ化合物、及び (D)光重合開始剤、 を主成分とする樹脂組成物において、(A)成分と(B)成分の合計100重量部に対して、(C)成分が10〜40重量部、(D)成分が0.01〜2.0重量部含有され、且つ、(D)成分の光重合開始剤として下記一般式(I)で表される化合物を含有することを特徴とする絶縁膜用感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/032 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027
FI (4件):
G03F7/032 502 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/031 ,  H01L21/30 502R
Fターム (16件):
2H025AA02 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA03 ,  2H025CA07 ,  2H025CA19 ,  2H025CA28 ,  2H025CB20 ,  2H025CB30 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51
引用特許:
出願人引用 (4件)
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