特許

J-GLOBAL ID：200903014166540271

プラズマ耐食性に優れたアルミナセラミックス材料およびその製造方法

発明者： 福島 謙輔 ,  寺尾 公一 ,  吉富 靖樹
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115241
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310451
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】 フッ素系プラズマに対して優れた耐食性を有するアルミナセラミックス材料を提供する。【解決手段】 アルミナセラミックス材料は、アルミナ純度が99.75%以上であり、平均結晶粒径が4μm〜15μmでありかつ嵩密度が3.94g/cm3 以上であるアルミナ焼結体からなる。さらにアルミナセラミックス材料は、X線回折測定において式I030 /(I113 +I030 )(式中、I030 およびI113はそれぞれX線回折測定により得られる回折パターンのアルミナ結晶{030}面および{113}面に対応するピークの強度である)によって求められる結晶配向率が0.34以上である表面をプラズマ耐食性の表面として有する。

請求項（抜粋）：

アルミナ純度が99.75%以上であり、平均結晶粒径が4μm〜15μmでありかつ嵩密度が3.94g/cm3 以上であるアルミナセラミックスからなり、かつX線回折測定において式I030 /(I113 +I030 )(式中、I030 およびI113 はそれぞれ前記X線回折測定により得られる回折パターンのアルミナ結晶{030}面および{113}面に対応するピークの強度である)によって求められる結晶配向率が0.34以上である表面をプラズマ耐食性の表面として有することを特徴とする、プラズマ耐食性に優れたアルミナセラミックス材料。

IPC (3件)：

C04B 35/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

C04B 35/10 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-086300   出願人：京セラ株式会社

審査官引用 (1件)

• 耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-086300   出願人：京セラ株式会社