特許

J-GLOBAL ID：200903049586758343

耐プラズマ部材

発明者： 岩見 祐三 ,  日下 浩次 ,  中堀 安浩 ,  松永 文夫
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-086300
公開番号（公開出願番号）：特開平11-278919
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】ハロゲン系腐食性ガス下でプラズマに曝されても摩耗が少ない耐プラズマ部材を提供する。【解決手段】反応処理室の内壁材、サセプタや静電チャックなどのウエハ保持部材、クランプ部材等の耐プラズマ部材のうち、少なくともハロゲン系腐食性ガス下でプラズマに曝される表面を、アルミナ含有量が99.9%以上で、上記アルミナ以外の成分としてMgとSiを含んでなり、上記MgとSiの重量比が酸化物換算でMgO/SiO2 ≧1であるとともに、焼結体中におけるアルミナの平均結晶粒子径が10μm以下であるアルミナ焼結体により形成するとともに、上記表面に存在する開気孔率を0.3%以下とする。

請求項（抜粋）：

少なくともハロゲン系腐食性ガス下でプラズマに曝される表面が、アルミナ含有量99.9重量%以上で、上記アルミナ以外の成分としてMgとSiを含んでなり、上記MgとSiの重量比が酸化物換算でMgO/SiO2 ≧1であるとともに、焼結体中におけるアルミナの平均結晶粒子径が10μm以下であるアルミナ焼結体からなり、上記表面に存在する開気孔率が0.3%以下である耐プラズマ部材。

IPC (5件)：

C04B 35/10 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

C04B 35/10 Z ,  C23C 16/44 B ,  C23F 4/00 Z ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• アルミナ焼結体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-201475   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 半導体製造装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-069086   出願人：東芝セラミックス株式会社