特許
J-GLOBAL ID:200903014215850788
カーボン被覆構造体およびその製造方法、及びカーボンチューブの製造方法、及びカーボン被覆電極、及び機能性素子
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山下 穣平
, 志村 博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-292406
公開番号(公開出願番号):特開2005-060166
出願日: 2003年08月12日
公開日(公表日): 2005年03月10日
要約:
【課題】 カーボンを孔の壁面に被覆した多孔質体を得る。【解決手段】 基板11にほぼ垂直な複数の柱状の孔を有する多孔体13の細孔壁の少なくとも一部分にカーボン15を被覆したカーボン被覆構造体において、多孔体13は、第一の成分を含み構成される柱状物質が、第一の成分と共晶を形成し得る第二の成分を含み構成されるマトリクス部材中に分散している構造体から、柱状物質を除去して柱状の孔が形成された多孔体である。多孔体が、薄膜状である。柱状物質がアルミニウムであり、マトリクス部材がシリコンであって、且つ構造体におけるシリコンの割合が20atomic%以上70atomic%以下の範囲にある。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板にほぼ垂直な複数の柱状の孔を有する多孔体の細孔壁の少なくとも一部分にカーボン被覆したカーボン被覆構造体において、
前記多孔体は、第一の成分を含み構成される柱状物質が、第一の成分と共晶を形成し得る第二の成分を含み構成されるマトリクス部材中に分散している構造体から、該柱状物質を除去して前記柱状の孔が形成された多孔体であることを特徴とするカーボン被覆構造体。
IPC (3件):
C01B31/02
, G01N27/30
, G01N27/327
FI (3件):
C01B31/02 101F
, G01N27/30 B
, G01N27/30 353F
Fターム (15件):
4G146AC03B
, 4G146AD23
, 4G146AD24
, 4G146AD30
, 4G146AD40
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC26
, 4G146BC29
, 4G146BC34B
, 4G146BC37B
引用特許:
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