特許
J-GLOBAL ID：200903014266660991
表示装置およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050887
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219527
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【目的】 アクティブマトリクス型の表示装置の作製工程における静電気による不良の発生を抑制する。【構成】 ガラス基板101上にアクティブマトリクス回路108と周辺駆動回路104と105と集積化した構成の作製工程において、ショートリング102の下部に存在する薄膜トランジスタの活性層と同一材料の半導体層を利用してショートリングに接続される保護容量を形成する。この保護容量は、プラズマを利用する工程において発生した電気パルスを吸収する機能を有している。また、103、106、112で示される放電パターンを設けることで、電気パルスの影響が各回路に及ぶことを抑制する。
請求項（抜粋）：
アクティブマトリクス回路と、該アクティブマトリクス回路を駆動するための周辺駆動回路と、が同一基板上に配置された構成を有し、前記アクティブマトリクス回路及び前記周辺駆動回路の周辺は放電パターンによって囲まれていることを特徴とする表示装置。
FI (2件)：
H01L 29/78 612 B
, H01L 29/78 623 A
