特許
J-GLOBAL ID：200903014270126070
基板端縁洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-246137
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092637
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 基板側縁部の裏面に形成された不要薄膜を確実に取り除くことができ、かつ、基板の裏面に溶剤が残留することのないようにする。【解決手段】 表面に薄膜が形成された角型基板Bの端縁を洗浄する装置であって、上記角型基板Bを保持する角型基板保持手段と、上記角型基板Bの側縁部に付着した不要薄膜を溶解する溶剤を吐出する下部溶剤ノズル315aと、不要薄膜の溶解物を含む溶剤を角型基板Bの側縁部から外方に向けて吹き飛ばす下部気体ノズル316aと、上記下部溶剤ノズル315aおよび下部気体ノズル316aを一体的に角型基板B端縁に沿って相対移動させる移動手段とを備えている。上記下部気体ノズル316aは、吐出口がスポット状に形成されている。
請求項（抜粋）：
表面に薄膜が形成された基板の端縁を洗浄する装置であって、上記基板を保持する基板保持手段と、上記基板の裏面側縁部に付着した不要薄膜を溶解する溶剤を吐出して付着させる溶剤吐出ノズルと、不要薄膜の溶解物を含む溶剤を基板の裏面側縁部から外方に向けて吹き飛ばす気体吐出ノズルと、上記溶剤吐出ノズルおよび気体吐出ノズルを、上記基板に対しその端縁に沿って相対移動させる移動手段とを備えてなる基板端縁洗浄装置であって、上記気体吐出ノズルは、吐出口がスポット状に形成され、上記側縁部への吐出域が、上記溶剤吐出ノズルによる上記裏面側縁部での溶剤の付着域よりも基板の内側の位置になるように設定されていることを特徴とする基板端縁洗浄装置。
引用特許：
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