剥離方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-258618
公開番号（公開出願番号）：特開平7-115048
出願日： 1993年10月15日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【構成】樹脂1kg中に0.3〜10モルの重合性不飽和基および0.1〜3モルの非プロトン型オニウム塩含有基を有する芳香族エポキシ樹脂誘導体と光重合開始剤よりなる光重合性組成物を基板上に塗膜形成し、上記塗膜を乾燥させた後、活性光線により光硬化させた光重合性組成物塗膜を剥離する際、剥離液として、水100重量部に対して、水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムを1〜10重量部、エチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、またはプロピレングリコールモノアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルのモノアルキルエーテルの鎖長が3〜6の化合物を10〜50重量部含有する剥離液を用いる。なお、上記剥離液にHLBが8〜18の非イオン性界面活性剤を0.1〜5重量部添加しても良い。【効果】光重合性組成物塗膜を安全かつ容易に基板から剥離できる。

請求項（抜粋）：

樹脂1kg中に0.3モル以上,10モル以下の重合性不飽和基および0.1モル以上,3モル以下の下記化1に示す非プロトン型オニウム塩含有基を有する芳香族エポキシ樹脂誘導体と光重合開始剤よりなる光重合性組成物を基板上に塗膜形成し、上記塗膜を乾燥せしめた後、上記塗膜に活性光線を照射し光硬化せしめて形成される光重合性組成物塗膜を剥離する剥離方法において、水100重量部に対して、水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムを1重量部以上,10重量部以下、エチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、またはプロピレングリコールモノアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルのモノアルキルエーテルの鎖長が3以上,6以下の化合物を10重量部以上,50重量部以下含有する剥離液を用いて剥離を行うことを特徴とする剥離方法。【化1】

IPC (4件)：

H01L 21/027 , H01L 21/304 341 , H05K 3/26 , H05K 3/28

引用特許：

審査官引用 (8件)

光重合性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-315406 出願人：関西ペイント株式会社
特開平2-001858
特開昭64-024254

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