ダイシング方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-080360
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288961
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】加工中のワークをワーク吸着テーブルから取り外すことなく、ダイシングブレードのドレッシング作業を行うことができ、ダイシングブレードの切れ味を常に良好な状態に維持することのできるダイシング方法を提供する。【解決手段】ワークWが貼付されたダイシングテープT上にワークWと隣接してドレス部材Dを貼付し、ダイシングブレードをワークWの加工に引き続いて、又はワークWの加工に先行してドレス部材Dに切込ませることにより、ダイシングブレードがワークWを1ライン加工する毎にドレッシングするようにした。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ダイシングテープに貼付されてフレームにマウントされたワークに、回転するブレードで溝入れ加工や切断加工を行うダイシング方法において、前記ダイシングテープの前記ワークに隣接した位置に、前記ブレードをドレッシングするドレス部材を貼付し、前記ワークの加工に引き続き、又はワークの加工に先行して前記ドレス部材を加工することを特徴とするダイシング方法。

IPC (2件)：

H01L21/301 , B24B53/00

FI (2件)：

H01L21/78 F , B24B53/00 K

Fターム (1件)：

3C047AA32

引用特許：

審査官引用 (5件)

ダイシングテープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-250196 出願人：株式会社ディスコ
特開平2-155703
特開昭56-164553

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