測定方法、検査方法及び検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-144193
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340989
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】配線にプローバを立てないで済む、より簡便な検査方法の確立、及び該検査方法を用いる検査装置の提供。【解決手段】非接触にて前記回路または回路素子に電圧を印加することで、前記回路または回路素子を動作させ、前記回路または回路素子から出力された電圧を非接触で読み取り、前記回路または回路素子の良否を判定することを特徴とする検査方法。

請求項（抜粋）：

回路または回路素子の測定方法であって、非接触にて前記回路または回路素子に電圧を印加することで、前記回路または回路素子を動作させ、前記回路または回路素子から出力された電圧を非接触で読み取る測定方法。

IPC (6件)：

G01R 31/302 , G01R 1/06 , G01R 31/02 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1368 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01R 1/06 F , G01R 31/02 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1368 , H01L 21/66 C , G01R 31/28 L

Fターム (28件)：

2G011AA01 , 2G011AE01 , 2G011AE03 , 2G011AE11 , 2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AB21 , 2G014AB59 , 2G014AC10 , 2G132AA00 , 2G132AA20 , 2G132AD01 , 2G132AD15 , 2G132AF16 , 2G132AK07 , 2H088FA11 , 2H088HA06 , 2H088MA20 , 2H092GA40 , 2H092JA01 , 2H092JA24 , 2H092NA30 , 2H092PA01 , 4M106AC02 , 4M106BA20 , 4M106CA02 , 4M106CA16 , 4M106DE30

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平1-297626
特開平1-297626
特開昭63-228058

全件表示

前のページに戻る