特許
J-GLOBAL ID:200903014377252337
レーザビーム用形状可変鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鎌田 文二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-038777
公開番号(公開出願番号):特開2000-241613
出願日: 1999年02月17日
公開日(公表日): 2000年09月08日
要約:
【要約】【課題】 レーザビーム用形状可変鏡の反射鏡を、高い熱伝導度、低いヤング率、高い0.2%耐力を有するものにして反射面の形状制御の高精度化や制御範囲の拡大などを図ることである。【解決手段】 反射鏡1を、マグネシウムを3重量%以下、及びリンを1重量%以下添加した材料やアルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金の冷間加工材或いは冷間加工後更に熱処理した材料で形成した。
請求項(抜粋):
反射鏡の形状制御を可変ならしめたレーザビーム用形状可変鏡であって、前記反射鏡を、重量比でマグネシウムを3%以下、リンを1%以下添加した銅合金で形成したことを特徴とするレーザビーム用形状可変鏡。
IPC (6件):
G02B 5/10
, C22C 9/00
, C22F 1/08
, G02B 7/182
, C22F 1/00 691
, C22F 1/00 694
FI (6件):
G02B 5/10 B
, C22C 9/00
, C22F 1/08 A
, C22F 1/00 691 B
, C22F 1/00 694 A
, G02B 7/18 Z
Fターム (11件):
2H042DA10
, 2H042DA20
, 2H042DB06
, 2H042DC05
, 2H042DD13
, 2H042DE07
, 2H043CA04
, 2H043CA10
, 2H043CB02
, 2H043CB03
, 2H043CE00
引用特許: