特許
J-GLOBAL ID：200903057763657539
レーザ用曲率可変鏡及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102722
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293915
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光のビーム径、焦点距離、ビームモードなどの調整に用いる曲率可変鏡の反射面の形状精度向上を、安価かつ簡単な構造によって実現することである。【解決手段】 反射鏡1、筐体5、PTZ素子によって駆動されるアクチュエータ9の3者間に非圧縮性液体15を充填してアクチュエータ9の体積変動で液体15の充填部に静圧を発生させ、その静圧で反射鏡1を変形させる。この反射鏡1は、裏面を球状にして厚みを中央側ほど厚くし、径方向各部に働く曲げモーメントの差を厚み差で吸収するようにしてあり、また、外周部の表裏をOリング13で保持して変形が起こり易くしてあるので、表面形状の理想球面からのずれが小さくなる。また、アクチュエータ9の伸長で表面が凹球面から平面、平面から凸球面に変わるようにしているので制御範囲も広がる。
請求項（抜粋）：
板状の反射鏡と、その反射鏡の外周部を保持する手段と、反射鏡の裏面に圧力を加えて前記保持手段による支持点を支点に反射鏡を変形させる加圧機構とを有し、この加圧機構による裏面からの加圧を圧力と反射鏡曲率との関係式に基づいて行って反射鏡の表面曲率を制御するレーザ用曲率可変鏡であって、前記反射鏡の厚みを裏面側で変化させて前記圧力による曲げモーメントが強く働く部位ほど厚みを大きくしたことを特徴とするレーザ用曲率可変鏡。
IPC (4件)：
H01S 3/08
, G02B 5/10
, G02B 7/198
, G02B 7/185
H01S 3/08 Z
, G02B 5/10 B
, G02B 7/18 B
, G02B 7/18 701
