特許
J-GLOBAL ID：200903014388676031

研磨パッド及び研磨装置

発明者：
中畑 政臣

中畑 政臣 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-290313
公開番号（公開出願番号）：特開2007-103602
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】研磨パッドの長寿命化及び面内均一性の向上を図るとともに、被研磨物の研磨パッドヘの張り付きを防止することができる研磨パッド及び研磨装置を提供すること。【解決手段】一方の面を研磨面22、他方の面を支持面23とした板状のパッド本体21と、このパッド本体21を研磨面22から支持面23まで貫通し、研磨面22の面方向における相異なる複数の方向に沿って延設された長孔31が複数組合せて形成された孔部30を複数備えている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被研磨物を研磨する研磨パッドにおいて、 一方の面を研磨面、他方の面を支持面とした板状のパッド本体と、 このパッド本体を上記研磨面から上記支持面まで貫通し、上記研磨面の面方向における相異なる複数の方向に沿って延設された長孔が複数組合せて形成された孔部を複数備えていることを特徴とする研磨パッド。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  B24B 37/00
FI (2件)：
H01L21/304 622F ,  B24B37/00 C
Fターム (8件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB04 ,  3C058CB05 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (3件)

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