特許
J-GLOBAL ID：200903014448330032
露光装置の制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-529556
公開番号（公開出願番号）：特表2001-507475
出願日： 1996年12月31日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：
【要約】本発明は、構造化された表面を、電子的に記憶されるパターンの像として写真製版により作製するための露光装置、特に印刷版を露光するための露光装置を制御する方法に関し、その際露光装置は、少なくとも一つの光源と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニット(8)と、結像光学系(9)とを有している。クオリティを損なうことなく全露光時間を短縮させるため、パターンを電子的方法で二次元の部分画像に分解し、画像作成ユニット(8)により、個々の部分画像を順次表示させ、しかし各部分画像の全面を同時に表示させ、構造化される表面を連続的に部分露光し、その際光源(3)と、画像作成ユニット(8)と、結像光学系(9)とを備えた露光ヘッド(1)を、2回の部分露光の間にそれぞれ一方の露光位置から次の露光位置へ走行させ、そこで露光のために停止させるようにして前記部分露光を行ない、その結果個々の部分像が電子的に記憶されるパターンの全体像に再び統合されるようにしたことを提案する。
請求項（抜粋）：
構造化された表面を、電子的に記憶されるパターンの像として写真製版により作製するための露光装置、特に印刷版を露光するための露光装置を制御する方法であって、露光装置が、少なくとも一つの光源(3)と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニット(8)と、結像光学系(9)とを有している前記方法において、パターンを電子的方法で二次元の部分画像に分解すること、画像作成ユニット(8)により、個々の部分画像を順次表示させ、しかし各部分画像の全面を同時に表示させ、構造化される表面を連続的に部分露光し、その際光源(3)と、画像作成ユニット(8)と、結像光学系(9)とを備えた露光ヘッド(1)を、2回の部分露光の間にそれぞれ一方の露光位置から次の露光位置へ走行させ、そこで露光のために停止させるようにして前記部分露光を行ない、その結果個々の部分像が電子的に記憶されるパターンの全体像に再び統合されるようにしたことを特徴とする方法。
引用特許：
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