特許
J-GLOBAL ID：200903014501752009
反射防止性を有する光学部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 静男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-199571
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062401
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 耐擦傷性、密着性および耐熱性に優れた反射防止膜を有する光学部材を生産性良く製造する方法を提供する。【構成】 有機金属化合物の種類および/または有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量を変化させるプラズマ重合法により、光学基材上に、高屈折率層と低屈折率層との交互積層体からなる反射防止膜を形成する工程を含むことを特徴とする反射防止性を有する光学部材の製造方法。
請求項（抜粋）：
有機金属化合物の種類および/または有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量を変化させるプラズマ重合法により、光学基材上に、高屈折率層と低屈折率層との交互積層体からなる反射防止膜を形成する工程を含むことを特徴とする反射防止性を有する光学部材の製造方法。
引用特許：
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