特許
J-GLOBAL ID：200903014548704959
バンプボンディング方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330513
公開番号（公開出願番号）：特開2001-148394
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】 高精度なバンプボンディングが安定して行えるようにする。【解決手段】 キャピラリ12aの先方に突出しているワイヤ4のテール部4aに放電による金属ボール4aを形成し、これをキャピラリ12aによりボンディング対象物14に押し付けて摩擦接合させた後、キャピラリ12a、クランパ8を後退させて引っ張ることにより、摩擦接合後の金属ボールから後続のワイヤを引きちぎりバンプ22を形成するのに、ワイヤ4を引っ張って引きちぎるまでの前記キャピラリ12aおよびクランパ8の後退を、引きちぎりによりワイヤ4のテール長さに所定以上の変動が生じない速度で行うことにより、上記の目的を達成する。
請求項（抜粋）：
原点位置にあるキャピラリに後方から通され先方に突出しているワイヤのテール部の先端に放電による金属ボールを形成し、この金属ボールをキャピラリの進出によりボンディング対象物上に押し付けて摩擦接合させた後、キャピラリを摩擦接合後の金属ボールから後退させてそれとの間に前記テールを形成するためのワイヤを引き出した後、摩擦接合後の金属ボールからの後続ワイヤをキャピラリの後方にあるクランパによりクランプしてキャピラリとともに後退し引っ張ることにより、このワイヤをキャピラリから突出したテール部を残して摩擦接合後の金属ボールとの間で引きちぎり、ボンディング対象物上に金属ボールによるバンプを形成してボンディングを終え、原点位置まで後退することを繰り返すバンプボンディング方法において、ワイヤを引っ張って引きちぎるまでの前記キャピラリおよびクランパの後退を、引きちぎりによりワイヤのテール長さに所定以上の変動が生じない速度で行ってボンディングを繰り返すことを特徴とするバンプボンディング方法。
引用特許：
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