力覚センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：下田容一郎 , 田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-233382
公開番号（公開出願番号）：特開2008-292510
出願日： 2008年09月11日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：

【課題】力覚センサチップに印加される軸力を適度に弱くし、設置すべき場所や設置できるスペース等に応じて最適な形状または取付け状態で設置できる力覚センサを提供する。【解決手段】この力覚センサは、力が印加される作用部、作用部を支持する支持部、作用部と支持部を連結する連結部と、を有する半導体基502板と、半導体基板と対向するガラス板503と、半導体基板の作用部に設けられた第1の電極LE1〜LE8と、第1の電極と対向するようにガラス板に設けられた第2の電極UE1〜UE8とを有する力覚センサチップに対して緩衝装置を備え、この緩衝装置は、入力部101と、力覚センサチップを固定するセンサ固定部102と、外力を減衰させる減衰機構部104と、外力の減衰力を作用部に伝達する伝達部105を備える。【選択図】図28

請求項（抜粋）：

力が印加される作用部と、前記作用部を支持する支持部と、前記作用部と前記支持部を連結する連結部と、を有する半導体基板と、前記半導体基板と対向するガラス板と、前記半導体基板の前記作用部に設けられた第1の電極と、前記第1の電極と対向するように前記ガラス板に設けられた第2の電極と、を有する力覚センサチップに対して、与えられた外力を減衰させて印加させる緩衝装置を備えた力覚センサであって、前記緩衝装置は、前記外力が入力される入力部と、前記力覚センサチップを固定するセンサ固定部と、前記外力を減衰させる減衰機構部と、前記外力の減衰力を前記作用部に伝達する伝達部とを備える、ことを特徴とする力覚センサ。

IPC (1件)：

G01L 5/16

FI (1件)：

G01L5/16

Fターム (4件)：

2F051AB09 , 2F051BA07 , 2F051DA03 , 2F051DB03

引用特許：

出願人引用 (2件)

6軸力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-059447 出願人：本田技研工業株式会社
特開平1-75930号公報(特許第2607096号公報)

審査官引用 (6件)

6軸力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-059447 出願人：本田技研工業株式会社
特開昭64-075930
特開平3-082928

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