特許
J-GLOBAL ID：200903014609181415
パーフルオロコンパウンド排ガスのプラズマ分解処理方法および該方法を利用したプラズマ分解処理装置並びにこのプラズマ分解処理装置を搭載した排ガス処理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-015375
公開番号（公開出願番号）：特開2005-205330
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】 簡単な構成にてCF4を含むPFC排ガスを少ないエネルギー消費量で確実に熱分解することができる分解処理方法,分解処理装置並びに排ガス処理システムを提供する。【解決手段】 非移行型電極38,56間に放電電圧を印加してアークを発生させるとともに、アークに作動ガスGを送給してアノード38側から外部に向かってプラズマジェットPを生成し、生成したプラズマジェットPのアノード38側の上流部近傍に向け、水洗により水溶性成分と粉塵とが除去され且つ水分が付加されたパーフルオロコンパウンド排ガスFを外側から供給する。これにより、従来の電熱ヒータでは分解することができなかったCF4なども迅速且つ不可逆的に分解することができる。また、作動ガスGとして半導体排ガスを用いることで、別途作動ガスGを準備しなくとも超高温のプラズマジェットを安定して生成できるとともに、排ガスFの分解処理量を増大させることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
非移行型電極間に放電電圧を印加してアークを発生させるとともに、前記アークに作動ガスを送給してアノード側から外部に向かってプラズマジェットを生成し、
生成した前記プラズマジェットのアノード側の上流部近傍に向け、水洗により水溶性成分と粉塵とが除去され且つ水分が付加されたパーフルオロコンパウンド排ガスを外側から供給して当該排ガスを熱分解することを特徴とするパーフルオロコンパウンド排ガスのプラズマ分解処理方法。
IPC (4件)：
B01D53/68
, B01J19/08
, H05H1/26
, H05H1/42
B01D53/34 134C
, B01J19/08 E
, H05H1/26
, H05H1/42
4D002AA22
, 4D002AC10
, 4D002BA02
, 4D002BA07
, 4D002BA14
, 4D002CA01
, 4D002DA35
, 4D002EA02
, 4G075AA03
, 4G075AA37
, 4G075BA05
, 4G075BB04
, 4G075BB05
, 4G075BD13
, 4G075DA02
, 4G075EB21
, 4G075EB43
, 4G075EC21
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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