ウェーハ面取方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055191
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249689
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】外周にオリフラ又はノッチが形成されたウェーハを精度良く面取りすることができるウェーハ面取方法及び装置の提供。【解決手段】回転自在に支持したウェーハWを互いに直交するX軸及びY軸方向に移動自在に支持し、そのY軸上に回転自在に支持した外周加工砥石48を設置する。ウェーハWの円形部Cを面取りするときは、ウェーハCの円形部を回転する外周加工砥石48に当接させ、その状態からウェーハWに回転を与えて円形部Cを面取りする。また、ウェーハWのオリフラOFを面取りするときは、ウェーハWのオリフラOFを回転する外周加工砥石48に当接させ、その状態から、ウェーハWにX軸方向の送りを与えてオリフラOFを面取りする。

請求項（抜粋）：

外周にオリフラが形成されたウェーハのウェーハ面取方法において、回転自在に支持したウェーハを互いに直交するX軸及びY軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在に支持した外周加工砥石をそのY軸上に設置し、前記ウェーハの円形部を回転する前記外周加工砥石に当接させ、その状態から前記ウェーハに回転を与えて前記ウェーハの円形部を面取りする工程と、前記ウェーハのオリフラ部を回転する前記外周加工砥石に当接させ、その状態から前記ウェーハにX軸方向の送りを与えて前記ウェーハのオリフラ部を面取りする工程と、前記ウェーハのオリフラコーナー部を回転する前記外周加工砥石に当接させ、その状態から、前記オリフラコーナー部が常に前記外周加工砥石に当接するように、前記ウェーハに回転とX軸方向の送り及びY軸方向の送りを与えて前記ウェーハのコーナー部を面取りする工程と、を所定の順で組み合わせることにより前記ウェーハの周縁を面取りすることを特徴とするウェーハ面取方法。

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-117546
特公平6-037024
特開昭57-173447

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