特許
J-GLOBAL ID：200903037524935232
ウェーハ面取り機
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-311351
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205001
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハのノッチの面取りを正確に加工することができるとともに、加工機のスペースが小さく低価格で、加工時間の短いウェーハ面取り機を提供することを目的とする。【構成】 回転自在なウェーハテーブル21と回転自在な外周加工砥石31を相対的に上下及び水平方向に移動可能に構成し、ウェーハをウェーハテーブル21に固定して、ウェーハテーブル21と外周加工砥石31の相対的な上下方向位置を設定するとともに、ウェーハテーブル21と外周加工砥石31を回転させながらウェーハテーブル21と外周加工砥石31を相対的に近づけることによってウェーハ外周の面取り加工を行うウェーハ面取り機に、ノッチ面取り加工ユニツト40を、外周加工砥石31の両端面の延長面で挟まれる空間に干渉しない位置で、外周加工砥石31の砥石軸受け台33のウェーハテーブル21側に設けた。
請求項（抜粋）：
回転自在なウェーハテーブルと回転自在な外周加工砥石を相対的に上下及び水平方向に移動可能に構成し、ウェーハを前記ウェーハテーブルに固定して、前記ウェーハテーブルと前記外周加工砥石の相対的な上下方向位置を設定するとともに、前記ウェーハテーブルと前記外周加工砥石を回転させながら前記ウェーハテーブルと前記外周加工砥石を相対的に近づけることによってウェーハ外周の面取り加工を行うウェーハ面取り機において、ノッチ面取り加工ユニツトを、前記外周加工砥石の両端面の延長面で挟まれる空間に干渉しない位置で、前記外周加工砥石の砥石軸受け台の前記ウェーハテーブル側に設けたことを特徴とするウェーハ面取り機。
IPC (2件)：
B24B 9/00
, H01L 21/304 301
