高周波キャリア型薄膜磁界センサ

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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：重信和男 , 加古進 , 清水英雄 , 高木祐一 , 中野佳直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-062002
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240289
出願日： 2006年03月08日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化【解決手段】(a)は伝送線路型の高周波キャリア型薄膜磁界センサ250の構成を示す。グランドプレーン256上に高周波を通電させる伝送線路254を構成する。その上に磁性薄膜252を載せることにより、直接磁性薄膜252に通電して起こる磁化の飽和を回避しながら、表皮効果を利用した磁気検出が行える。この伝送線路254は、その形状で定まる共振の周波数がある。伝送線路254を流す搬送波電流の周波数を共振周波数とすることにより、センサをより高感度とすることができる。(b)は、このセンサ250を用いた測定系の構成を示す。制御解析装置210には、X-Yステージ230の制御系も組み込まれている。また、制御回析装置210は制御解析用コンピュータ220に接続され、全体の制御を行うとともに、測定結果の解析・表示等も行う。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

磁性薄膜と、前記磁性薄膜の近傍に設けた搬送波電流を流す、共振周波数を有する伝送線路とを備えた高周波キャリア型薄膜磁界センサであって、前記伝送線路に流す搬送波電流の周波数は、前記伝送線路の共振周波数であり、前記高周波キャリア型薄膜磁界センサのインピーダンス変化により磁界を測定することを特徴とする高周波キャリア型薄膜磁界センサ。

IPC (2件)：

G01R 33/02 , H01L 43/00

FI (2件)：

G01R33/02 D , H01L43/00

Fターム (9件)：

2G017AA02 , 2G017AD54 , 5F092AA01 , 5F092AB01 , 5F092AC01 , 5F092AD08 , 5F092BD03 , 5F092BD04 , 5F092CA23

引用特許：

審査官引用 (1件)

磁気検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-246727 出願人：株式会社トーキン, 荒井賢一

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