特許

J-GLOBAL ID：200903014665785803

元素組成比の異なる微小物質のEPMA定量法

発明者： 長田 義男
出願人/特許権者： 日本軽金属株式会社
代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200720
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162165
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 元素組成比が異なり、しかも、電子線照射時における特性X線発生領域より小さい複数の微小物質を含む試料について、その試料中の微小物質をEPMAで正確に定量することができるEPMA定量法を提供する。【解決手段】 試料の所定の測定領域内の複数の側定点に電子線を照射し、この電子線照射により励起した各側定点における複数の測定対象元素からのX線強度を測定し、測定されたX線強度から各側定点における各測定対象元素の相対X線強度を求め、得られた各測定対象元素の相対X線強度から各側定点における各測定対象元素の相対X線強度比を算出し、この各側定点における各測定対象元素の相対X線強度比をモンテカルロシミュレーション法により求めた分別判定のための相対X線強度比の閾値と比較して各側定点の分別判定を行なう。

請求項（抜粋）：

元素組成比が異なり、かつ、電子線照射時における特性X線発生領域より小さい複数の微小物質を含む試料についてその微小物質をEPMAで定量するEPMA定量法であり、試料の所定の測定領域内の複数の測定点に電子線を照射し、この電子線照射により励起した各測定点における複数の測定対象元素からのX線強度を測定し、測定されたX線強度から各測定点における各測定対象元素の相対X線強度を求め、得られた各測定対象元素の相対X線強度から各測定点における各測定対象元素の相対X線強度比を算出し、この各測定点における各測定対象元素の相対X線強度比をモンテカルロシミュレーション法により求めた分別判定のための相対X線強度比の閾値と比較して各測定点の分別判定を行ない、得られた所定の測定領域内の各測定点の分別判定の結果から元素組成比の異なる微小物質の定量を行うことを特徴とする元素組成比の異なる微小物質のEPMA定量法。

IPC (2件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/252

FI (2件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/252 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 粒状試料のX線による定量分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-235575   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平1-219550
  
• 特開平2-095247