粒状試料のX線による定量分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：縣浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-235575
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063714
出願日： 1993年08月28日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】粒状試料のX線分光法による定量分析方法を提供する。【構成】試料の実測から平均的な粒径の球状試料モデルを考え、元素の組成を仮定して所定の加速電圧で加速された電子を上記球状試料モデルに入射させたときの試料内での電子の軌跡のシミュレーション計算によって、電子の試料内原子との衝突により発生する各成分元素の特性X線の強度比を求め、試料について実測された成分元素の特性X線強度比と比較し両者が一致するように元素の組成を変えて上記計算を繰り返し、最終的な仮定組成を以て試料の分析値とする。【効果】固体試料のX線分光法による定量分析で適用されるZAF法は粒状試料に適用しても正確な結果が得られないが、本発明により正確な定量分析が可能となる。

請求項（抜粋）：

粒状試料に対して、それと略同径の球状試料モデルを考え、その試料モデルの元素組成比を仮定し、所定の加速電圧で加速された一個の電子を上記試料モデルに入射させたときの試料内での上記電子の軌跡のシミュレーション計算を行って、上記電子の試料モデル内での運動中に放射される成分元素の特性X線の上記試料モデルの球外に出るまでの吸収を考えた強度を計算し、上記計算を多数個の電子について行った上、成分元素の特性X線強度の総和から成分元素の特性X線の相互強度比を求め、他方実試料について上記所定の加速電圧で加速された電子ビームを照射したときの試料成分元素の特性X線の相互強度比を実測し、上記計算によって求める各成分の特性X線の相互強度比が上記実測値と一致するように当初の組成比を修正して上記計算繰り返し、両者が一致したときの仮定組成比を以て分析値とすることを特徴とする粒状試料のX線による定量分析方法。

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平1-219550
特開平2-035345
特開平4-043944

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審査官引用 (13件)

特開平1-219550
特開平2-035345
特開平4-043944

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