特許

J-GLOBAL ID：200903014697572127

高周波透過体およびその製造方法

発明者： 藤田 光広 ,  小林 慶朗 ,  青沼 伸一朗 ,  村松 滋子 ,  佐藤 幸夫 ,  柏熊 憲章
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151482
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335974
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】 高周波を良好に透過し、熱衝撃による破損を防止した高周波透過体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化アルミニウム結晶相を主体とする窒化アルミニウム焼結体により形成されており、珪素含有量が200ppm以下であり、誘電損失(tanδ)が1×10-2以下である高周波透過体とする。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム結晶相を主体とする窒化アルミニウム焼結体により形成された高周波透過体であって、珪素含有量が200ppm以下であり、誘電損失(tanδ)が1×10-2以下であることを特徴とする高周波透過体。

IPC (2件)：

C04B 35/581 ,  H05H 1/46

FI (2件)：

C04B 35/58 104 D ,  H05H 1/46 C

Fターム (16件)：

4G001BA09 ,  4G001BA36 ,  4G001BA71 ,  4G001BA73 ,  4G001BB01 ,  4G001BB09 ,  4G001BB36 ,  4G001BB71 ,  4G001BB73 ,  4G001BC42 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BD03 ,  4G001BD23 ,  4G001BE01 ,  4G001BE22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-080657   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭62-270466