特許
J-GLOBAL ID：200903035272937030

耐プラズマ部材

発明者：
長崎 浩一

長崎 浩一 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-080657
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275524
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】【課題】フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下において優れた耐プラズマ性を有するとともに、マイクロ波の透過性に優れる窒化アルミニウム焼結体からなる耐プラズマ部材を提供する。【解決手段】フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝された基体を、窒化アルミニウムを主体とし、その平均結晶粒子径が3μm以上であって、かつマイクロ波帯域の誘電損失が1×10-2以下である窒化アルミニウム焼結体により形成する。
請求項（抜粋）：
フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝される基体を、窒化アルミニウムを主体とし、その平均結晶粒子径が3μm以上であって、かつマイクロ波帯域の誘電損失が1×10-2以下である窒化アルミニウム焼結体により形成したことを特徴する耐プラズマ部材。
IPC (11件)：
H01B 3/12 327 ,  H01B 3/12 337 ,  C04B 35/581 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/68 ,  H05H 1/46 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (11件)：
H01B 3/12 327 ,  H01B 3/12 337 ,  C23C 14/34 H ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/68 R ,  H05H 1/46 C ,  H01L 21/205 ,  C04B 35/58 104 Y ,  H01L 21/302 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
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