特許

J-GLOBAL ID：200903014708904640

ペリクル

発明者： 濱田 裕一
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245530
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068793
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【解決手段】 ペリクルフレーム(2)の上端面にペリクル膜(3)を張設してなるペリクルにおいて、上記ペリクルフレーム(2)の内周面の上端側が下端側より内方に突出していることを特徴とするペリクル。【効果】 本発明のペリクルは、露光光源の光がペリクルフレームの内周面に照射され難いので、内周面に形成される異物捕集用粘着剤層、更にはペリクルフレームの下端面に形成される露光原版との貼着用粘着剤層の光劣化が可及的に防止されるものである。

請求項（抜粋）：

ペリクルフレーム(2)の上端面にペリクル膜(3)を張設してなるペリクルにおいて、上記ペリクルフレーム(2)の内周面の上端側が下端側より内方に突出していることを特徴とするペリクル。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  B08B 17/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 K ,  B08B 17/02 ,  H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-180504   出願人：東ソー株式会社