特許
J-GLOBAL ID：200903014743397050

吸着装置

発明者：
長崎 浩一

長崎 浩一 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195202
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045758
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】表面に窒化アルミニウム膜を形成した静電チャックにおいて、外周側面や貫通孔内壁面などの垂直面には充分な厚みの窒化アルミニウム膜が形成できず、耐プラズマ性が悪かった。【解決手段】吸着面1aをなす平坦面2aに開口する貫通孔を有する基体2を金属またはセラミックスで形成し、上記基体2の外周側面2b及び貫通孔内壁面2cと平坦面2aとの成す角度αをそれぞれ80°以下とするとともに、これら平坦面2a、外周側面2b、及び貫通孔内壁面2cに窒化アルミニウム膜3を被着して静電チャック1等の吸着装置を構成する。
請求項（抜粋）：
吸着面をなす平坦面に開口する貫通孔を有する基体を金属またはセラミックスで形成し、上記基体の外周側面及び貫通孔内壁面と平坦面との成す角度をそれぞれ80°以下とするとともに、これら平坦面、外周側面、及び貫通孔内壁面に窒化アルミニウム膜を被着したことを特徴とする吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00
FI (4件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/68 P ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D
引用特許：
審査官引用 (2件)

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