特許

J-GLOBAL ID：200903014821130081

トレ-収容装置

発明者： ギュンター プリッツ
出願人/特許権者： ワッカー ジルトロニック ゲゼルシャフト フュア ハルプライターマテリアーリエン アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278818
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114360
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 特にトレー、延いてはウェハーを規定された位置に配置する。【解決手段】 トレー収容装置が少なくとも2つのサイドガイド(2)と、少なくとも1つのストッパ(3)とを有しており、該ストッパ(3)が、それぞれ少なくとも2つのサイドガイド(2)の手前に配置されており、これらの2つのサイドガイド(2)が、それぞれ間隔を置いて平行に相対して配置されており、両サイドガイド(2)が、それぞれほぼ同じ高さに支持面を有しているように形成されている。

請求項（抜粋）：

固定面(1)を備えたトレー収容装置において、該トレー収容装置が少なくとも2つのサイドガイド(2)と、少なくとも1つのストッパ(3)とを有しており、該ストッパ(3)が、それぞれ少なくとも2つのサイドガイド(2)の手前に配置されており、これらの2つのサイドガイド(2)が、それぞれ間隔を置いて平行に相対して配置されており、両サイドガイド(2)が、それぞれほぼ同じ高さに支持面を有しているように形成されていることを特徴とするトレー収容装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• キャリアローダ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-117847   出願人：神鋼電機株式会社