特許

J-GLOBAL ID：200903014879053788

大気圧定常グロー放電プラズマ

発明者： イアリジス,アンジェロ ,  ピアザダ,シャヒド エー. ,  デッカー,ボルフガンク
出願人/特許権者： シグマ テクノロジーズ インターナショナル,インコーポレイティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-596758
公開番号（公開出願番号）：特表2002-536798
出願日： 2000年01月28日
公開日（公表日）： 2002年10月29日
要約：

【要約】プラズマ処理装置(10)は電極(30)の1つに多孔質金属層(34)を組入れる。多孔質層は大気圧下でプラズマガスの平均自由行程の大きさの1オーダーの範囲内の平均径の細孔を有するように選ばれる。プラズマガスは、実質的に大気圧下で電極に注入され、多孔質層により拡散され、それにより一様なグロー放電プラズマを生成する。処理されるべきフィルム材料(14)はこの電極と誘電層(16)で被覆された第2の電極(12)の間で、創り出されたプラズマにさらされる。多孔質金属(34)の細孔のミクロサイズのために、各細孔は、プラズマガスのイオン化を促進する中空カソード作用をも生じる。その結果、定常グロー放電プラズマが大気圧下で、そして60Hzの低い電力周波数で生成される。

請求項（抜粋）：

実質的に大気圧下でグロー放電プラズマを生成するための装置であり、次の構成要素の組合せ: 一対の対立する電極、その電極の少くとも1つは金属多孔質層を含む; 電極に電圧を加えるための手段;ならびに 該金属多孔質層によりプラズマガスを拡散させるための手段、を含む装置。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 E ,  H05H 1/46 M

Fターム (11件)：

4G075AA30 ,  4G075CA16 ,  4G075CA47 ,  4G075CA62 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075FA14 ,  4G075FB02 ,  4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プラズマ状態検出方法及びその装置、プラズマ制御方法及びその装置並びにエッチング終点検出方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-053672   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭62-210623
  
• プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-243251   出願人：凸版印刷株式会社