荷電粒子検出方法およびその装置並びに荷電粒子ビ-ムによる処理方法およびその装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100509
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036273
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】励起光の照射によるノイズ成分が含まれず、しかも帯電する電荷による位置ずれのない正確で、かつ高コントラストな荷電粒子像を絶縁物を有する試料から検出できるようにする。【解決手段】試料11に対して荷電粒子ビーム2を走査照射する荷電粒子ビーム照射光学系と、該荷電粒子ビーム照射光学系により荷電粒子ビームを走査照射することによって試料11から発生する荷電粒子を検出して荷電粒子信号を得る荷電粒子検出器5、6と、上記試料11に対して絶縁物中の電子を励起して導通化するための励起光を照射する励起光照射光学系と、上記荷電粒子検出器による荷電粒子の検出期間または上記荷電粒子ビーム照射光学系による荷電粒子ビームの照射期間と上記励起光照射光学系による励起光の照射期間とを別な期間とするように制御する制御手段61、62、67とを備えた。

請求項（抜粋）：

絶縁物を有する試料に対して荷電粒子ビームを走査照射することによって試料から発生する荷電粒子を検出して荷電粒子信号を得る検出過程と、上記試料に対して励起光をパルス的に照射することによって絶縁物中の電子を励起して導通化して電荷を逃がす導通化過程とを有することを特徴とする荷電粒子検出方法。

IPC (7件)：

H01J 37/20 , G01N 23/225 , H01J 37/252 , H01J 37/28 , H01J 37/30 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (8件)：

H01J 37/20 H , G01N 23/225 , H01J 37/252 B , H01J 37/28 B , H01J 37/30 Z , H01L 21/66 N , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 W

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭63-133640
特開昭63-133640
特開平1-194256

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