ダイヤフラム及びダイヤフラム弁

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：柳川泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-182816
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372151
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】流体の流量制御範囲が広いダイヤフラム弁を提供すること。【解決手段】ヤング率が90GPa以下であり、且つ降伏強さが100MPa以上である合金組成物からなるダイヤフラムをダイヤフラム弁に利用する。

請求項（抜粋）：

ヤング率が90GPa以下であり、且つ降伏強さが100MPa以上である合金組成物からなるダイヤフラム。

IPC (4件)：

F16J 3/02 , F04B 43/02 , F16K 7/12 , F16K 31/02

FI (4件)：

F16J 3/02 A , F04B 43/02 B , F16K 7/12 A , F16K 31/02 A

Fターム (13件)：

3H062AA02 , 3H062CC05 , 3H077AA00 , 3H077CC02 , 3H077DD02 , 3H077DD12 , 3H077FF08 , 3H077FF12 , 3H077FF22 , 3J045AA04 , 3J045AA06 , 3J045BA04 , 3J045EA10

引用特許：

審査官引用 (7件)

Ti-Zr系合金
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-375058 出願人：テルモ株式会社, 日本素材株式会社, 井上明久
ダイアフラムシール弁及びその金属ダイアフラム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-135575 出願人：日立金属株式会社
ダイヤフラム弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-166476 出願人：株式会社フジキン

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