特許

J-GLOBAL ID：200903014887091192

曲線形状をもつ微細造形物を光造形法により滑らかに作製する方法および装置

発明者： 村松 宏
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-012049
公開番号（公開出願番号）：特開2004-223790
出願日： 2003年01月21日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】本発明の課題は、マイクロ光造形加工において、曲線パターンの造形を滑らかに仕上げることができる手法を提示すること、並びにそれを実行する装置を提供することにある。【解決手段】本発明の方法は、光硬化性樹脂15に光を照射することにより光硬化性樹脂15を硬化させて構造物を形成させる光造形法において、曲線形状をもつ造形物を滑らかに作製するために、造形物基台側の回転駆動と光ビームの一方向走査とを組み合わせるようにした。その方法を実行するマイクロ光造形装置として、液状の光硬化性樹脂15の液面下にある基板14を回転させる機構と、上方より光ビームを光硬化性樹脂に照射する光学系に該光ビームを一方向に振らせる機構とを備えるようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光硬化性樹脂に光を照射することにより前記樹脂を硬化させて構造物を形成させる光造形法において、造形物基台側の回転駆動と光ビームの一方向走査とを組み合わせて相対変位させることにより、曲線形状をもつ造形物を滑らかに作製する光造形方法。

IPC (1件)：

B29C67/00

FI (1件)：

B29C67/00

Fターム (12件)：

4F213AA44 ,  4F213AR07 ,  4F213AR09 ,  4F213WA25 ,  4F213WA97 ,  4F213WL02 ,  4F213WL12 ,  4F213WL35 ,  4F213WL45 ,  4F213WL80 ,  4F213WL85 ,  4F213WL94